Descripción
Este proyecto se llevó a cabo en el Centro Universitario de Ciencias Exactas e Ingenierías (CUCEI) en el Departamento de Física, y tuvo el propósito de observar el comportamiento del plasma y su repercusión sobre el depósito de las películas delgadas sobre el sustrato a través de la variación de la presión. Se caracterizaron las muestras por medio de espectroscopía ultravioleta-visible (UV-Vis), Difracción de rayos X (XRD), Espectroscopía fotoelectrónica de rayos x (XPS) y Espectroscopía Raman, para identificar los grados de oxidación obtenidos en las películas, el grosor y defectos con el objetivo de determinar su aplicación en sensores de gas, celdas solares y celdas de combustible.
