Síntesis y caracterización de películas delgadas
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Data
2022-12-01Autor
Gómez-Gracián, Ignacio D.
Piña-Delgadillo, María F.
Metadata
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En este trabajo se sintetizaron películas delgadas de Ag:Ti a través de un co-dopaje por magnetrón sputtering variando la potencia aplicada en el blanco de titanio. Este sistema de películas de Ag:Ti junto con un sistema multicapa de BN, en donde se modificó la atmósfera de trabajo del gas Argón – Neón, fueron caracterizados por diversas técnicas. En ambos sistemas se estudió la rugosidad y la morfología de las muestras por AFM y SEM, respectivamente. Para los recubrimientos de BN, la composición química se determinó a partir de las mediciones por XPS, mientras que la fase cristalina se estimó a partir de los espectros obtenidos por FTIR. Las caracterizaciones fueron complementadas para su análisis con el uso de distintos softwares como lo es Gwyddion para visualizar en 3D las mediciones realizadas en el AFM y calcular la rugosidad observada donde destacan el depósito de nitruro de boro realizado con un flujo de atmósfera mayor de Argón que de Neón y el depósito de plata – titanio con sus respectivas potencias muy similares. Con respecto a la composición, se utiliza el software de Aanaylizer, para calcular el porcentaje atómico de cada elemento con los espectros de alta resolución del XPS, donde en ambos sistemas se detectaron los elementos esperados, sin anomalías.ITESO, A.C.