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dc.contributor.authorCampos-Rodríguez, Raúl
dc.contributor.authorAlcaraz-Mejía, Mildreth
dc.date.accessioned2016-04-04T21:53:51Z
dc.date.accessioned2023-03-21T15:35:31Z
dc.date.available2016-04-04T21:53:51Z
dc.date.available2023-03-21T15:35:31Z
dc.date.issued2014-01
dc.identifier.citationCampos-Rodríguez, R. & Alcaraz-Mejía, M. (2014) Diseño de micro y macro espejos de actuación electrostática. En Avances en Ingeniería Eléctrica. Guadalajara, México: Universidad de Guadalajara.es
dc.identifier.isbn978-607-7768-76-0
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12032/73291
dc.descriptionEn este trabajo se presenta el diseño de micro y macro espejos de actuación electrostática. Debido a la complejidad de los fenómenos que intervienen en el dispositivo, en este capítulo se presta especial atención al diseño de los actuadores electrostáticos tanto micro como macroscópicos, y se deja como trabajo futuro el análisis de las propiedades ópticas de los dispositivos aquí descritos. Las dimensiones del microespejo se encuentran en el rango de los micrómetros, mientras que las del macroespejo se encuentran en el rango de los milímetros. Existe un factor de escalamiento de 1:250 entre las dimensiones de los espejos que se espera incida en este mismo orden de magnitud en los fenómenos electromecánicos en la micro y macro escala. Se detalla el diseño electro-mecánico y se explica su principio de funcionamiento. Se proporcionan modelos matemáticos y simulaciones numéricas que predicen el comportamiento de los principales elementos electromecánicos de los espejos. Se discuten las implicaciones en el mecanismo de actuación como resultado del escalamiento en las dimensiones.es
dc.description.sponsorshipITESO, A.C.es
dc.description.sponsorshipUniversidad de Guadalajaraes
dc.language.isospaes
dc.publisherUniversidad de Guadalajaraes
dc.rights.urihttp://quijote.biblio.iteso.mx/licencias/CC-BY-NC-2.5-MX.pdfes
dc.subjectMicrosistemases
dc.subjectEspejoses
dc.subjectFuerza Electrostáticaes
dc.subjectMEMSes
dc.subjectMicro Actuador Electrostáticoes
dc.titleDiseño de micro y macro espejos de actuación electrostáticaes
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/bookPartes


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2014 Microespejos MEMS.pdf572.5Kbapplication/pdfVisualizar/Abrir

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