Caracterización y diseño de sistemas microelectromecánicos en Cinvestav Unidad Guadalajara
Date
2016-05Author
Conteras-Quiñones, Fernando
García-Ruiz, Jorge
Ibarra-Michel, José J.
Rodríguez-García, Salvador A.
Vega-Ibáñez, Francisco
Villalobos-Meza, Cristian A.
Wonchee-Sandoval, Ehecatl
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En este trabajo se introduce el concepto de sistema microelectromecánico (MEMS, por sus siglas en inglés), se realiza una descripción de su proceso de fabricación en tecnología PolyMUMPs, así como de conceptos teóricos necesarios para la comprensión de los principios de funcionamiento de los MEMS de los alumnos de posgrado del Cinvestav con los que se trabajó. Se detallan las actividades que se realizaron a lo largo de la estancia, la manera en que se caracterizaron los MEMS, los cursos tomados de ANSYS y conceptos de control, y las clases impartidas de elemento finito e introducción a mecánica cuántica. Finalmente, mediante las técnicas aprendidas y recopiladas, se diseñó un prototipo de MEMS con una propuesta de mejora modelado en SolidWorks.ITESO, A.C.
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