[pt] INCORPORAÇÃO SUPERFICIAL DE NITROGÊNIO EM FILMES DLC TRATADOS EM PLASMA DE RADIO FREQÜÊNCIA
[en] SUPERFICIAL INCORPORATION OF NITROGEN IN FILM DLC TREATED IN PLASMA OF RADIO FREQUENCY
| dc.contributor | FERNANDO LAZARO FREIRE JUNIOR | |
| dc.creator | VICENTE AGUSTIN ATOCHE ESPINOZA | |
| dc.date | 2003-09-09 | |
| dc.date.accessioned | 2022-09-21T21:41:55Z | |
| dc.date.available | 2022-09-21T21:41:55Z | |
| dc.identifier | https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=3884@1 | |
| dc.identifier | https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=3884@2 | |
| dc.identifier | http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.3884 | |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/20.500.12032/42200 | |
| dc.description | [pt] Filmes de carbono amorfo hidrogenados, (a - C: H) e nitrogenados,) ( a - C: H(N) - depositados pela técnica Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) em atmosferas de metano e metano-nitrogênio foram submetidos a tratamento em plasmas de N2. A influência de vários parâmetros foi investigada: a pressão da câmara, tensão de autopolarização e tempo de exposição. A taxa de erosão determinada por perfilometria. A taxa aumenta com a tensão e tende a saturar-se para altas pressões. A incorporação de nitrogênio foi medida por reação nuclear. O resultado indica um decréscimo no conteúdo de N com o aumento da tensão de autopolarização e pode ser explicado pelo aumento da erosão química e física. As ligações químicas foram analisadas por XPS e dois ambiente podem ser identificados: um com átomos de N rodeado por átomos de C e o outro com átomos N ligado ao H. A modificação da rugosidade da superfície e coeficiente de atrito foi caracterizada por Microscopia de Força Atômica (AFM). A rugosidade da superfície é independente do valores de autopolarização, quando o coeficiente de atrito decresce com o aumento da tensão de autopolarização. | |
| dc.description | [en] Amorphous Hydrogenated carbon films (a - C: H) and nitrogenated films ) (a - C: H(N) - deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition in 4 CH and CH4-N2 atmospheres were submitted to nitrogen r.f.- plasma treatment. The influence of several parameters was investigated: the chamber pressure, the self-bias voltage and the exposure time. The erosion rate was determined by profilometry. It increases as the self-bias increases and tends to saturate for higher pressures. The nitrogen incorporated in the films was measured by nuclear reation analysis. The results indicate a decrease in the N content a the self-bias increase that can be atributted toen increase of the sputtering yield. The chemical bonds were probed by XPS and two chemical environments can be identified, one with N atoms surrounded by C atoms and the other one with N atoms binding to H. Surface roughness and friction coefficient modifications were followed by atomic force and lateral force microscopies. The surface roughness is independent on the value of the self-bias voltage, while the friction coefficient slightly decreases. | |
| dc.language | pt | |
| dc.publisher | MAXWELL | |
| dc.subject | [pt] CARBONO AMORFO | |
| dc.subject | [pt] ANALISES POR FEIXE DE IONS | |
| dc.subject | [pt] PLASMA | |
| dc.subject | [pt] IMPLANTACAO DE IONS | |
| dc.subject | [en] AMORPHOUS CARBON | |
| dc.subject | [en] BEAM ANALYZES | |
| dc.subject | [en] PLASMA | |
| dc.subject | [en] ION IMPLANTATION | |
| dc.title | [pt] INCORPORAÇÃO SUPERFICIAL DE NITROGÊNIO EM FILMES DLC TRATADOS EM PLASMA DE RADIO FREQÜÊNCIA | |
| dc.title | [en] SUPERFICIAL INCORPORATION OF NITROGEN IN FILM DLC TREATED IN PLASMA OF RADIO FREQUENCY | |
| dc.type | TEXTO |
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