[pt] ESTUDO DA INCORPORAÇÃO DE NITROGÊNIO EM FILMES DE CARBONO AMORFO FLUORADO

CARLOS MANUEL SANCHEZ TASAYCO

[en] NITROGEN INCORPORATION INTO AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS

dc.contributor	FERNANDO LAZARO FREIRE JUNIOR
dc.creator	CARLOS MANUEL SANCHEZ TASAYCO
dc.date	2003-07-02
dc.date.accessioned	2022-09-21T21:41:49Z
dc.date.available	2022-09-21T21:41:49Z
dc.identifier	https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=3698@1
dc.identifier	https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=3698@2
dc.identifier	http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.3698
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/20.500.12032/42109
dc.description	[pt] As propriedades tribológicas de revestimentos de carbono usados em discos rígidos magnéticos foram de enorme importância para o contínuo aumento da densidade de informação armazenada nos mesmos. As características mecânicas e estruturais de filmes de carbono amorfo também foram indispensáveis para o desenvolvimento de revestimentos que atendessem às especificações do desenvolvimento destes dispositivos: alta dureza e densidade, além de baixo coeficiente de atrito e alta resistência ao desgaste. Neste trabalho são apresentados os efeitos da incorporação de nitrogênio em filmes de carbono fluorado (a-C:H:F) depositados pela técnica de deposição por vapor químico assistido por plasma. As propriedades mecânicas e estruturais foram investigadas com o uso das técnicas nucleares (retroespalhamento Rutherford, detecção de recuo elástico, reação nuclear), espectroscopia de fotoelétrons induzidos por raios-X, medidas de tensão interna (por perfilometria), espectroscopia de absorção no infravermelho, espectroscopia Raman, microscopia de força atômica e medidas de ângulo de contato. Foi depositada uma série de filmes onde foi variada a pressão de N2 em uma atmosfera precursora de CH4-CF4 (1:2) (PN2 = 0% até 60%). A tensão de autopolarização foi fixada em - 350V. Os resultados obtidos mostram que as propriedades dos filmes são controladas pela incorporação de nitrogênio que chega a 20 at.%. Identificou-se um decaimento na taxa de deposição com o incremento da pressão parcial de N2, e um sensível decaimento na concentração de flúor. O filme fica menos tensionado, o que pode resultar em uma melhoria na adesão. Entretanto, o ângulo de contato diminui, resultando em um aumento no coeficiente de atrito. Novos estudos procurando aumentar simultaneamente as concentrações de F e N são sugeridos.
dc.description	[en] The tribological properties of carbon coatings of hard magnetic disks played an important role for the continuous increase of their storage capacity. The mechanical and structural properties were also important: high density, hardness and wear resistance, and low friction coefficient. In this work, we study the effects of the nitrogen incorporation into fluorinated carbon films (a-C:H:F) deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition. The film properties were investigated by using a multitechnique approach: nuclear techniques (Rutherford backscattering, elastic recoil and nuclear reaction analyses), x-ray photoelectron spectroscopy, internal stress measurements by perfilometry, Raman and Infrared spectroscopies, atomic force microscopy and contact angle measurements. Films were deposited changing the N2 partial pressure in a precursor atmosphere also composed by a fixed CH4-CF4 mixture (1:2) (PN2: 0 - 60%), with the self-bias voltage of -350V. The results show that the film properties are controlled by the nitrogen incorporation, with an important fluorine content reduction. The internal stress reduction may result in an increase of the film adhesion. However, the contact angle decreases upon nitrogen incorporation, resulting in an increase of the friction coefficient. New studies with the goal of obtain a simultaneous increase of both fluorine and nitrogen content are suggested.
dc.language	pt
dc.publisher	MAXWELL
dc.subject	[pt] PROPRIEDADES MECANICAS
dc.subject	[pt] PROPRIEDADES TRIBOLOGICAS
dc.subject	[pt] FLUOR
dc.subject	[pt] FILMES FINOS
dc.subject	[pt] CARBONO
dc.subject	[en] MECHANICAL PROPERTIES
dc.subject	[en] TRIBOLOGICAL PROPERTIES
dc.subject	[en] FLUORINE
dc.subject	[en] THIN FILMS
dc.subject	[en] CARBON
dc.title	[pt] ESTUDO DA INCORPORAÇÃO DE NITROGÊNIO EM FILMES DE CARBONO AMORFO FLUORADO
dc.title	[en] NITROGEN INCORPORATION INTO AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS
dc.type	TEXTO

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